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真空泵的類型非常多,劃分方法也多樣:
按工作原理分:容積變化泵(如旋片泵、渦旋泵等);動量傳輸泵(如分子泵、擴散泵等);吸附捕集泵(如低溫泵、離子泵、吸氣劑泵)
按工作介質分:干式泵(如渦旋泵、分子泵、離子泵等)和非干式泵(如旋片泵、擴散泵等)
按(an)真(zhen)(zhen)空度(du)分:低真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(如(ru)(ru)旋片泵(beng)(beng)(beng)、渦旋泵(beng)(beng)(beng)、羅(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)等)、高(gao)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(如(ru)(ru)分子(zi)泵(beng)(beng)(beng)、擴(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)、低溫泵(beng)(beng)(beng)等)、超高(gao)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(如(ru)(ru)離子(zi)泵(beng)(beng)(beng)、鈦升華泵(beng)(beng)(beng)、吸氣劑泵(beng)(beng)(beng)等)
相(xiang)關今(jin)日要(yao)聞